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三坐标测量仪是指在六面体空间中显示几何形状、长度和圆周分度的仪器，又称三坐标测量仪或三坐标测量床。三坐标测量仪还可以定义探测器可以在三个垂直轨道上移动，探测器可以通过数据处理器或计算机计算工件点(x、y、z)和功能测量仪器通过接触或非接触传输信号，三轴位移测量系统(如光栅尺)。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度和轮廓精度。
机型介绍
结构类型：三轴花岗岩，四面环绕活动桥结构。
三坐标测量仪：
传动方式：直流伺服系统+预载高精度空气轴承。
RENISHAW开放式光栅尺分辨率为0.1μm。
测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针。
机器:高精度(00级)花岗岩平台。
使用环境：温度(20±2)℃，湿度40%-70%，温度梯度1℃/m，温度变化1℃/h。
空气压力：0.4MPa-0.6MPa。
空气流量：25升/min。
MPEE:≤2.1+L/350(μm)
MPEP：≤2.1μm。
主要特征
三轴采用天然高精度花岗岩导轨，保证整体热力学性能相同，避免三轴材料不同热膨胀系数造成的机器精度误差。
比较花岗岩和航空铝合金。
1.铝合金热膨胀系数大。航空铝合金梁和Z轴一般采用三坐标测量基准光栅尺的损坏和精度变化。
2.由于三坐标平台为花岗岩结构，三坐标主轴也为花岗岩材料。主轴采用花岗岩、梁、Z轴等材料。由于三轴热膨胀系数不同，温度变化时测量精度扭曲稳定。
三轴导轨采用天然花岗岩周围的矩形结构。预应力浮轴承的高精度自清洗是保证机器精度长期稳定的基础。同时，轴承应力沿轴向稳定平衡，有利于保证机械硬件的使用寿命。
3.采用小孔节气技术。
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